A capacitance and optical method for the static and dynamic characterisation of mems devices (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • A capacitance and optical method for the static and dynamic characterisation of mems devices (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Ferraris E., Fassi I., De Masi B., Rosing R., Richardson A. (2005)
    A capacitance and optical method for the static and dynamic characterisation of mems devices
    in DTIP 2005 - Design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS, Montreaux, Switzerland, June 2005
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • Ferraris E., Fassi I., De Masi B., Rosing R., Richardson A. (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#altreInformazioni
  • ISBN:2-84813-0357-1 *come si trova sulla pubblicazione (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • CNR, STMicroelectronics, Lancaster University (literal)
Titolo
  • A capacitance and optical method for the static and dynamic characterisation of mems devices (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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