Low Loss Coplanar Lines on Low Resistivity Silicon by SU-8 Thick Negative Photoresist (Contributo in atti di convegno)

Type

• Contributo in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Low Loss Coplanar Lines on Low Resistivity Silicon by SU-8 Thick Negative Photoresist (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/SMICND.2005.1558722 (literal)

Alternative label

• Marcelli R., Catoni S., Frenguelli L. (2005)
  Low Loss Coplanar Lines on Low Resistivity Silicon by SU-8 Thick Negative Photoresist
  in 28th International Semiconductor Conference, IEEE CAS 2005, Sinaia, Romania, October 3-5, 2005
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Marcelli R., Catoni S., Frenguelli L. (literal)

Pagina inizio

• 107 (literal)

Pagina fine

• 110 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Proceedings of the 28th International Semiconductor Conference, IEEE CAS 2005 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 4 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM Roma (literal)

Titolo

• Low Loss Coplanar Lines on Low Resistivity Silicon by SU-8 Thick Negative Photoresist (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 0-7803-9214-0 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume

• AA.VV. (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#curatoriVolume

• Editors: Dan Dascalu, General Chairman; Adrian Rusu, Technical Program Chair (literal)

Abstract

• In this paper a new approach to obtain low losses coplanar waveguide (CPW) lines is described. A photolithographic process is performed by using SU-8 thick negative photo-resist on low resistivity silicon to obtain CPW lines elevated with respect to the substrate to get the advantages from transmission line structures which are almost on-the-air. (literal)

Editore

• CAS Office (Editore)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• SIMONE CATONI (Unità di personale esterno)
• LUCIANO FRENGUELLI (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Low Loss Coplanar Lines on Low Resistivity Silicon by SU-8 Thick Negative Photoresist" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• LUCIANO FRENGUELLI (Unità di personale interno)
• SIMONE CATONI (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/modulo/ID2035

Editore di

• CAS Office (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Low Loss Coplanar Lines on Low Resistivity Silicon by SU-8 Thick Negative Photoresist" (Insieme di parole chiave)