Si Ultra Shallow Junctions Dopant Profiling with ADF-STEM (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Si Ultra Shallow Junctions Dopant Profiling with ADF-STEM (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Parisini A, Giubertoni D, Bersani M, Morandi V, Merli PG, van den Berg JA (2007)
  Si Ultra Shallow Junctions Dopant Profiling with ADF-STEM
  in MRS, Fall Meeting, Boston (USA)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Parisini A, Giubertoni D, Bersani M, Morandi V, Merli PG, van den Berg JA (literal)

Titolo

• Si Ultra Shallow Junctions Dopant Profiling with ADF-STEM (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)

Autore CNR

• PIER GIORGIO MERLI (Persona)
• VITTORIO MORANDI (Persona)
• ANDREA PARISINI (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANDREA PARISINI (Unità di personale interno)
• VITTORIO MORANDI (Persona)
• PIER GIORGIO MERLI (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)