An optical study of the correlation between growth kinetics and microstructure of ƒÝc-Si grown by SiH4-H2PECVD (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• An optical study of the correlation between growth kinetics and microstructure of ƒÝc-Si grown by SiH4-H2PECVD (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• M.M.Giangregorio, M.Losurdo, A.Sacchetti, P.Capezzuto, F.Giorgis, G.Bruno (2005)
  An optical study of the correlation between growth kinetics and microstructure of ƒÝc-Si grown by SiH4-H2PECVD
  in Symposium-P,, Strasbourg, France
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• M.M.Giangregorio, M.Losurdo, A.Sacchetti, P.Capezzuto, F.Giorgis, G.Bruno (literal)

Titolo

• An optical study of the correlation between growth kinetics and microstructure of ƒÝc-Si grown by SiH4-H2PECVD (literal)

Prodotto di

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Plasmi per la Scienza dei Materiali (MD.P03.025.001) (Modulo)

Autore CNR

• PIO CAPEZZUTO (Persona)
• ALBERTO SACCHETTI (Unità di personale interno)
• GIOVANNI BRUNO (Unità di personale interno)
• MARIA LOSURDO (Unità di personale interno)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Plasmi per la Scienza dei Materiali (MD.P03.025.001) (Modulo)

Autore CNR di

• GIOVANNI BRUNO (Unità di personale interno)
• MARIA LOSURDO (Unità di personale interno)
• ALBERTO SACCHETTI (Unità di personale interno)
• PIO CAPEZZUTO (Persona)