Bulk micro defects behaviour in not-intentionally contaminated epi Si submitted to relaxation and segregation gettering (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Bulk micro defects behaviour in not-intentionally contaminated epi Si submitted to relaxation and segregation gettering (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1002/pssc.20067546 (literal)

Alternative label

• Frigeri C., Gombia E., Motta A. (2007)
  Bulk micro defects behaviour in not-intentionally contaminated epi Si submitted to relaxation and segregation gettering
  in Physica status solidi. C, Conferences and critical reviews; WILEY-V C H VERLAG GMBH,, D-69451 WEINHEIM, (Germania)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Frigeri C., Gombia E., Motta A. (literal)

Pagina inizio

• 3075 (literal)

Pagina fine

• 3079 (literal)

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• International Conference on Extended Defects in Semiconductors (EDS 2006) Location: Halle, GERMANY Date: SEP 17-22, 2006 Sponsor(s): Martin Luther Univ; Max Planck Inst Mikrostrukturphys; Fraunhofer Inst Wersktoffmech (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/pssc.200675465/abstract (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 4 (literal)

Rivista

• Physica status solidi. C, Conferences and critical reviews (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 8 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMEM Institute, Parco Area della Scienze 37/A, 43010 Parma, Italy (literal)

Titolo

• Bulk micro defects behaviour in not-intentionally contaminated epi Si submitted to relaxation and segregation gettering (literal)

Abstract

• An EBIC study of bulk micro defects (BMDs) in not-intentionally contaminated epi Si submitted to both relaxation and segregation gettering and with an unknown initial contaminant concentration below the sensitivity of DLTS has been carried out. It allowed to establish which was the contaminant (Fe) and the possible range of its initial concentration. An evaluation of the behaviour of the BMDs during relaxation gettering and of the contribution of relaxation gettering to the overall gettering process was performed. (literal)

Editore

• WILEY-V C H VERLAG GMBH, (Editore)

Prodotto di

• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)
• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)

Autore CNR

• ENOS GOMBIA (Persona)
• ALBERTO MOTTA (Unità di personale interno)
• CESARE FRIGERI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Bulk micro defects behaviour in not-intentionally contaminated epi Si submitted to relaxation and segregation gettering" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)

Autore CNR di

• ALBERTO MOTTA (Unità di personale interno)
• ENOS GOMBIA (Persona)
• CESARE FRIGERI (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Physica status solidi. C, Conferences and critical reviews (Rivista)

Editore di

• WILEY-V C H VERLAG GMBH, (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Bulk micro defects behaviour in not-intentionally contaminated epi Si submitted to relaxation and segregation gettering" (Insieme di parole chiave)