Pulsed plasma ion source to create Si nanocrystals in SiO2 substrates (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Pulsed plasma ion source to create Si nanocrystals in SiO2 substrates (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2009-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.apsusc.2008.08.030 (literal)

Alternative label

• Lorusso A, Nassisi V, Congedo G, Lovergine N, Velardi L, Prete P (2009)
  Pulsed plasma ion source to create Si nanocrystals in SiO2 substrates
  in Applied surface science; Elsevier, Amsterdam (Paesi Bassi)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Lorusso A, Nassisi V, Congedo G, Lovergine N, Velardi L, Prete P (literal)

Pagina inizio

• 5401 (literal)

Pagina fine

• 5404 (literal)

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• http://apps.webofknowledge.com (literal)

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• 255 (literal)

Rivista

• Applied surface science (Rivista)

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• 4 (literal)

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• 10 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)
• Scopus (literal)

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• 1. Univ Bari, Dept Phys, I-70126 Bari, Italy 2. Univ Salento, Dept Phys, Lab Elettron Applicata & Strumentaz LEAS, I-73100 Lecce, Italy 3. Ist Nazl Fis Nucl, I-73100 Lecce, Italy 4. Univ Salento, Dept Innovat Engn, I-73100 Lecce, Italy 5. IMM, CNR, Unita Lecce, I-73100 Lecce, Italy (literal)

Titolo

• Pulsed plasma ion source to create Si nanocrystals in SiO2 substrates (literal)

Abstract

• A pulsed KrF excimer laser of irradiance of about 10(8) W/cm(2) was utilized to synthesize Si nanocrystals on SiO2/Si substrates. The results were compared with that ones obtained by applying low bias voltage to Si(1 0 0) target in order to control the kinetic energy of plasma ions. Glancing incidence X-ray diffraction spectra indicate the presence of silicon crystalline phases, i.e. (1 1 1) and (2 2 0), on SiO2/Si substrates. The average Si nanocrystal size was estimated to be about 45 nm by using the Debye-Scherrer formula. Scanning electron microscopy and atomic force microscopy images showed the presence of nanoparticles of different size and shape. Their distribution exhibits a maximum concentration at 49 nm and a fraction of 14% at 15 nm. (literal)

Editore

• Elsevier (Editore)

Prodotto di

• Sensori e Microsistemi Intelligenti per la Sicurezza e la Qualità della vita nei settori Agroalimentare, Trasporti ed \"Ambient Assisted Living\" (MD.P05.010.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• NICOLA LOVERGINE (Persona)
• PAOLA PRETE (Persona)

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Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sensori e Microsistemi Intelligenti per la Sicurezza e la Qualità della vita nei settori Agroalimentare, Trasporti ed \"Ambient Assisted Living\" (MD.P05.010.001) (Modulo)

Autore CNR di

• PAOLA PRETE (Persona)
• NICOLA LOVERGINE (Persona)

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• Applied surface science (Rivista)

Editore di

• Elsevier (Editore)