A microsystem based on porous silicon-glass anodic bonding for gas and liquid optical sensing (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• A microsystem based on porous silicon-glass anodic bonding for gas and liquid optical sensing (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• De Stefano L, Malecki K, Della Corte FG, Moretti L, Rea I, Rotiroti L, Rendina I (2006)
  A microsystem based on porous silicon-glass anodic bonding for gas and liquid optical sensing
  in Sensors (Basel)
  (literal)

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• De Stefano L, Malecki K, Della Corte FG, Moretti L, Rea I, Rotiroti L, Rendina I (literal)

Pagina inizio

• 680 (literal)

Pagina fine

• 687 (literal)

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• 6 (literal)

Rivista

• Sensors (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

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• CNR, Inst Microelect & Microsyst, Naples, I-80131 Italy; DIMET Mediterranea Univ Reggio Calabria, Localita Feo Vito, Reggio Di Calabria, I-89060 Italy (literal)

Titolo

• A microsystem based on porous silicon-glass anodic bonding for gas and liquid optical sensing (literal)

Abstract

• We have recently presented an integrated silicon-glass opto-chemical sensor for lab-on-chip applications, based on porous silicon and anodic bonding technologies. In this work, we have optically characterized the sensor response on exposure to vapors of several organic compounds by means of reflectivity measurements. The interaction between the porous silicon, which acts as transducer layer, and the organic vapors fluxed into the glass sealed microchamber, is preserved by the fabrication process, resulting in optical path increase, due to the capillary condensation of the vapors into the pores. Using the Bruggemann theory, we have calculated the filled pores volume for each substance. The sensor dynamic has been described by time-resolved measurements: due to the analysis chamber miniaturization, the response time is only of 2 s. All these results have been compared with data acquired on the same PSi structure before the anodic bonding process. (literal)

Prodotto di

• Microsistemi optoelettronici in silicio e tecnologie compatibili (MD.P05.014.001) (Modulo)
• Microsensori e sistemi di sensing ottici (MD.P05.014.002) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• IVO RENDINA (Unità di personale interno)
• ILARIA REA (Persona)
• LUIGI MORETTI (Unità di personale esterno)
• LUCIA ROTIROTI (Unità di personale esterno)
• LUCA DE STEFANO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO GIUSEPPE DELLA CORTE (Persona)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi optoelettronici in silicio e tecnologie compatibili (MD.P05.014.001) (Modulo)
• Microsensori e sistemi di sensing ottici (MD.P05.014.002) (Modulo)

Autore CNR di

• ILARIA REA (Persona)
• LUCIA ROTIROTI (Unità di personale esterno)
• LUIGI MORETTI (Unità di personale esterno)
• FRANCESCO GIUSEPPE DELLA CORTE (Persona)
• IVO RENDINA (Unità di personale interno)
• LUCA DE STEFANO (Unità di personale interno)

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• Sensors (Rivista)