Effect of deposition temperature on chemical composition and electronic properties of amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films grown by plasma assisted pulsed laser deposition (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Effect of deposition temperature on chemical composition and electronic properties of amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films grown by plasma assisted pulsed laser deposition (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2011-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.tsf.2011.01.194 (literal)

Alternative label

• E. Cappelli 1; D. M. Trucchi 1; S. Kaciulis 2; S. Orlando 1; A. Zanza 1; A. Mezzi 2 (2011)
  Effect of deposition temperature on chemical composition and electronic properties of amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films grown by plasma assisted pulsed laser deposition
  in Thin solid films (Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• E. Cappelli 1; D. M. Trucchi 1; S. Kaciulis 2; S. Orlando 1; A. Zanza 1; A. Mezzi 2 (literal)

Pagina inizio

• 4059 (literal)

Pagina fine

• 4063 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 519 (literal)

Rivista

• Thin solid films (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 12 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• (1) CNR - IMIP (2) CNR - ISMN (literal)

Titolo

• Effect of deposition temperature on chemical composition and electronic properties of amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films grown by plasma assisted pulsed laser deposition (literal)

Abstract

• The effect of deposition temperature and nitrogen inclusion in amorphous carbon (a-C) films, deposited by plasma enhanced pulsed laser deposition, on chemical composition and electronic transport has been studied. a-CNx films were deposited on Si (100) by pulsed ArF laser ablation of a graphite target, under N(2) atmosphere. A radiofrequency (13.56 MHz RF) apparatus was used to generate plasma of excited nitrogen species, and its effect on nitrogen uptake and CNx film formation has been studied. Chemical and micro-structural changes associated to increased deposition temperature and nitrogen incorporation were examined by x-ray photoelectron spectroscopy; electrical properties were analyzed by the four-point-probe methods. Temperature-dependent conductivity measurements are tentatively interpreted and discussed in reference to chemical composition. (literal)

Prodotto di

• Materiali e Dispositivi a base Carbonio (MD.P05.022.001) (Modulo)
• Interazione Laser Materia (MD.P03.030.001) (Modulo)
• Istituto per lo studio dei materiali nanostrutturati (ISMN) (Istituto)
• Sintesi e crescita di film e superfici nanostrutturate (PM.P05.004.002) (Modulo)
• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)

Autore CNR

• EMILIA CAPPELLI (Unità di personale interno)
• STEFANO ORLANDO (Unità di personale interno)
• ANDREA ZANZA (Unità di personale esterno)
• SAULIUS KACIULIS (Persona)
• ALESSIO MEZZI (Unità di personale interno)
• DANIELE MARIA TRUCCHI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Effect of deposition temperature on chemical composition and electronic properties of amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films grown by plasma assisted pulsed laser deposition" (Insieme di parole chiave)

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Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Istituto per lo studio dei materiali nanostrutturati (ISMN) (Istituto)
• Materiali e Dispositivi a base Carbonio (MD.P05.022.001) (Modulo)
• Sintesi e crescita di film e superfici nanostrutturate (PM.P05.004.002) (Modulo)
• Interazione Laser Materia (MD.P03.030.001) (Modulo)

Autore CNR di

• EMILIA CAPPELLI (Unità di personale interno)
• DANIELE MARIA TRUCCHI (Persona)
• STEFANO ORLANDO (Unità di personale interno)
• SAULIUS KACIULIS (Persona)
• ALESSIO MEZZI (Unità di personale interno)
• ANDREA ZANZA (Unità di personale esterno)

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• Thin solid films (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Effect of deposition temperature on chemical composition and electronic properties of amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films grown by plasma assisted pulsed laser deposition" (Insieme di parole chiave)