Test structures for dielectric spectroscopy of thin films at microwave frequencies (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Test structures for dielectric spectroscopy of thin films at microwave frequencies (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.microrel.2007.01.062 (literal)

Alternative label

• Delmonte N. a; Watts B.E. b; Chiorboli G. a; Cova P. a; Menozzi R. a (2007)
  Test structures for dielectric spectroscopy of thin films at microwave frequencies
  in Microelectronics and reliability; Pergamon-Elsevier Press Science LDT, Oxford (Regno Unito)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Delmonte N. a; Watts B.E. b; Chiorboli G. a; Cova P. a; Menozzi R. a (literal)

Pagina inizio

• 682 (literal)

Pagina fine

• 685 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 47 (literal)

Rivista

• Microelectronics and reliability (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 4-5 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• a University of Parma, Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, Viale G.P. Usberti, 181 /A, 43100 Parma, Italy; b Istituto IMEM, CNR, Parco Area delle Scienze, 37/A, 43010 Loc. Fontanini, Parma, Italy (literal)

Titolo

• Test structures for dielectric spectroscopy of thin films at microwave frequencies (literal)

Abstract

• This work describes the application of two different test structures to execute broadband microwave measurements of the dielectric constant of ceramic thin films. Coplanar waveguide probes and vector network analyzer were used to measure the dielectric constant versus frequency of thin films of lead zirconate titanate and zirconium titanate, fabricated by sol gel methods. One-step lithography was used to produce planar metal-insulator-metal and interdigitated capacitor test patterns. The two test structures are compared for zirconium titanate films. The metal-insulator-metal method has been applied also to a lead zirconate titanate film and to show the capability of computing the dielectric tunability. (C) 2007 Elsevier Ltd. All rights reserved. (literal)

Editore

• Pergamon-Elsevier Press Science LDT (Editore)

Prodotto di

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Ossidi nanostrutturati per sensoristica e fotovoltaico (SP.P02.003.001) (Modulo)

Autore CNR

• BERNARD ENRICO WATTS (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Test structures for dielectric spectroscopy of thin films at microwave frequencies" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Ossidi nanostrutturati per sensoristica e fotovoltaico (SP.P02.003.001) (Modulo)

Autore CNR di

• BERNARD ENRICO WATTS (Unità di personale interno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Microelectronics and reliability (Rivista)

Editore di

• Pergamon-Elsevier Press Science LDT (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Test structures for dielectric spectroscopy of thin films at microwave frequencies" (Insieme di parole chiave)