Thickness measurement of thin transparent plates with a broad-band wavelength scanning interferometer (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Thickness measurement of thin transparent plates with a broad-band wavelength scanning interferometer (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2004-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1117/12.544955 (literal)

Alternative label

• Maddaloni, P.; Coppola, Giuseppe; De Natale, Paolo; De Nicola, Sergio; Ferraro, Pietro; Gioffrè, Mariano A.; Iodice, Mario (2004)
  Thickness measurement of thin transparent plates with a broad-band wavelength scanning interferometer
  in Optical Micro- and Nanometrology in Manufacturing Technology; Strasbourg; France; 29 April 2004 through 30 April 2004; Code 64036, Strasbourg; France, 29 April 2004
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Maddaloni, P.; Coppola, Giuseppe; De Natale, Paolo; De Nicola, Sergio; Ferraro, Pietro; Gioffrè, Mariano A.; Iodice, Mario (literal)

Pagina inizio

• 64 (literal)

Pagina fine

• 70 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-10044241662&origin=inward (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 5458 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#volumeInCollana

• 5458 (literal)

Rivista

• Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering (Rivista)

Note

• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Istituto Nazionale di Ottica Applicata; Consiglio Nazionale delle Ricerche; Istituto di Cibernetica Eduardo Caianiello (literal)

Titolo

• Thickness measurement of thin transparent plates with a broad-band wavelength scanning interferometer (literal)

Abstract

• A novel broad-band telecom laser source is used to realize a lateral-shear scanning-wavelength interferometer for measuring the thickness of thin plates. We show that the wide tunability range allows to detect samples down to tens of microns with a relative uncertainty of less than 0.5% and a resolution of about 1 nm. A comparable accuracy in the thickness characterization of double-layer structures is also demonstrated. In turn, the wide tunability range needs the dispersion law of the materials to be taken into account in the model for correct thickness evaluation. (literal)

Prodotto di

• Istituto di cibernetica \"Edoardo Caianiello\" (ISASI) (Istituto)

Autore CNR

• GIUSEPPE COPPOLA (Persona)
• SERGIO DE NICOLA (Persona)
• PAOLO DE NATALE (Persona)
• MARIO IODICE (Unità di personale interno)
• MARIANO ANTONIO GIOFFRE' (Unità di personale interno)
• PASQUALE MADDALONI (Persona)
• PIETRO FERRARO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Thickness measurement of thin transparent plates with a broad-band wavelength scanning interferometer" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• PIETRO FERRARO (Unità di personale interno)
• PASQUALE MADDALONI (Persona)
• SERGIO DE NICOLA (Persona)
• PAOLO DE NATALE (Persona)
• MARIO IODICE (Unità di personale interno)
• MARIANO ANTONIO GIOFFRE' (Unità di personale interno)
• GIUSEPPE COPPOLA (Persona)

Prodotto

• Istituto di cibernetica \"Edoardo Caianiello\" (ISASI) (Istituto)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Thickness measurement of thin transparent plates with a broad-band wavelength scanning interferometer" (Insieme di parole chiave)