MEMS flow sensor based on a sigma-delta modulator embedded in the thermal domain (Contributo in atti di convegno)

Type

• Contributo in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• MEMS flow sensor based on a sigma-delta modulator embedded in the thermal domain (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2014-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1007/978-3-319-00684-0-58 (literal)

Alternative label

• Piotto M., Longhitano A.N., Del Cesta F., Bruschi P. (2014)
  MEMS flow sensor based on a sigma-delta modulator embedded in the thermal domain
  in 17th National Conference on Sensors and Microsystems;, Brescia; Italy;, 5 February 2013 through 7 February 2013
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Piotto M., Longhitano A.N., Del Cesta F., Bruschi P. (literal)

Pagina inizio

• 307 (literal)

Pagina fine

• 311 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Sensors and Microsystems: AISEM 2013 Proceedings (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#volumeInCollana

• 268 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 5 (literal)

Note

• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR, IEIIT Pisa, via G. Caruso 16, Pisa 56122, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso 16, Pisa 56122, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso 16, Pisa 56122, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, via G. Caruso 16, Pisa 56122, Italy (literal)

Titolo

• MEMS flow sensor based on a sigma-delta modulator embedded in the thermal domain (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 978-3-3190-0683-3 (literal)

Abstract

• A system for gas flow measurement, based on MEMS flow sensing microstructures and a sigma-delta interface, is described. The sensing structures consist of double-heater differential microcalorimeters, obtained by means of a post-processing procedure applied to chips fabricated using the Bipolar-CMOS-DMOS process BCD6s of STMicroelectronics. Part of the sigma-delta modulator is implemented in the thermal domain by exploiting the versatility of the double-heater sensing structures. The measurements performed in nitrogen flow prove the effectiveness of the proposed approach. (literal)

Editore

• Springer (Editore)

Prodotto di

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)
• Sistemi e dispositivi per le tecnologie dell'informazione (ICT.P07.001.001) (Modulo)

Autore CNR

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)
• Sistemi e dispositivi per le tecnologie dell'informazione (ICT.P07.001.001) (Modulo)

Autore CNR di

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Editore di

• Springer (Editore)