Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial-regrowth of amorphous Si (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial-regrowth of amorphous Si (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1063/1.4751254 (literal)

Alternative label

• Panciera F, Hoummada K, Mastromatteo M, De Salvador D, Napolitani E, Boninelli S, Impellizzeri G, Priolo F, Carnera A, Mangelinck D (2012)
  Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial-regrowth of amorphous Si
  in Applied physics letters
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Panciera F, Hoummada K, Mastromatteo M, De Salvador D, Napolitani E, Boninelli S, Impellizzeri G, Priolo F, Carnera A, Mangelinck D (literal)

Pagina inizio

• 103113-1 (literal)

Pagina fine

• 103113-4 (literal)

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• http://scitation.aip.org/getpdf/servlet/GetPDFServlet?filetype=pdf&id=APPLAB000101000010103113000001&idtype=cvips&doi=10.1063/1.4751254&prog=normal (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 101 (literal)

Rivista

• Applied physics letters (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 5 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 10 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• [ 1 ] Univ Paul Cezanne, CNRS, IM2NP, F-13397 Marseille 20, France [ 2 ] Univ Padua, CNISM, I-35131 Padua, Italy [ 3 ] Univ Padua, Dipartimento Fis & Astron, I-35131 Padua, Italy [ 4 ] Univ Padua, CNR IMM MATIS, I-35131 Padua, Italy [ 5 ] Univ Catania, CNR IMM MATIS, I-95123 Catania, Italy [ 6 ] Univ Catania, Dipartimento Fis & Astron, I-95123 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial-regrowth of amorphous Si (literal)

Abstract

• The fluorine redistribution during partial solid-phase-epitaxial-regrowth at 650 degrees C of a preamorphized Si substrate implanted by F was investigated by atom probe tomography (APT), transmission electron microscopy, and secondary ions mass spectrometry. Three-dimensional spatial distribution of F obtained by APT provides a direct observation of F-rich clusters with a diameter of less than 1.5 nm. Density variation compatible with cavities and F-rich molecular ions in correspondence of clusters are in accordance with cavities filled by SiF4 molecules. Their presence only in crystalline Si while they are not revealed by statistical analysis in amorphous suggests that they form at the amorphous/crystal interface. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Materiali nanostrutturati per l'elettronica, l'energia e l'ambiente (MD.P05.026.001) (Modulo)
• Materiali e dispositivi nanostrutturati per la fotonica e la sensoristica (MD.P05.027.001) (Modulo)

Autore CNR

• DAVIDE DE SALVADOR (Unità di personale esterno)
• ENRICO NAPOLITANI (Persona)
• ALBERTO CARNERA (Persona)
• FRANCESCO PRIOLO (Persona)
• GIULIANA IMPELLIZZERI (Unità di personale interno)
• SIMONA MARIA CRISTINA BONINELLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial-regrowth of amorphous Si" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Materiali nanostrutturati per l'elettronica, l'energia e l'ambiente (MD.P05.026.001) (Modulo)
• Materiali e dispositivi nanostrutturati per la fotonica e la sensoristica (MD.P05.027.001) (Modulo)

Autore CNR di

• FRANCESCO PRIOLO (Persona)
• ENRICO NAPOLITANI (Persona)
• GIULIANA IMPELLIZZERI (Unità di personale interno)
• DAVIDE DE SALVADOR (Unità di personale esterno)
• ALBERTO CARNERA (Persona)
• SIMONA MARIA CRISTINA BONINELLI (Persona)

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• Applied physics letters (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial-regrowth of amorphous Si" (Insieme di parole chiave)