Binary and complex oxide thin films for microelectronic applications: An insight into their growth and advanced nanoscopic investigation (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Binary and complex oxide thin films for microelectronic applications: An insight into their growth and advanced nanoscopic investigation (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.surfcoat.2013.06.069 (literal)

Alternative label

• R. Lo Nigro 1, P. Fiorenza 1, M. R. Catalano 2, G. Fisichella 1,3, F. Roccaforte 1, G. Malandrino 2 (2013)
  Binary and complex oxide thin films for microelectronic applications: An insight into their growth and advanced nanoscopic investigation
  in Surface & coatings technology
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• R. Lo Nigro 1, P. Fiorenza 1, M. R. Catalano 2, G. Fisichella 1,3, F. Roccaforte 1, G. Malandrino 2 (literal)

Pagina inizio

• 152 (literal)

Pagina fine

• 162 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 230 (literal)

Rivista

• Surface & coatings technology (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1 Istituto per la Microelettronica e Microsistemi, IMM-CNR, Strada VIII 5, 95121 Catania, Italy 2 Dipartimento di Scienze Chimiche, Università di Catania, INSTM -- UdR Catania, Viale A. Doria 6, 95125 Catania, Italy 3 Dipartimento di Ingegneria Elettronica, Università di Catania, Viale A. Doria 6, 95125 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Binary and complex oxide thin films for microelectronic applications: An insight into their growth and advanced nanoscopic investigation (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Materiali multifunzionali, e innovativi per componenti integrati (MD.P05.003.002) (Modulo)

Autore CNR

• PATRICK FIORENZA (Persona)
• FABRIZIO ROCCAFORTE (Persona)
• RAFFAELLA LO NIGRO (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• FABRIZIO ROCCAFORTE (Persona)
• RAFFAELLA LO NIGRO (Unità di personale interno)
• PATRICK FIORENZA (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Materiali multifunzionali, e innovativi per componenti integrati (MD.P05.003.002) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Surface & coatings technology (Rivista)