A new on-chip test structure for real time fatigue analysis in polysilicon MEMS (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• A new on-chip test structure for real time fatigue analysis in polysilicon MEMS (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• G. Langfelder, A. Longoni, F. Zaraga, A. Corigliano, A. Ghisi, A. Merassi (2008)
  A new on-chip test structure for real time fatigue analysis in polysilicon MEMS
  in Microelectronics and reliability
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• G. Langfelder, A. Longoni, F. Zaraga, A. Corigliano, A. Ghisi, A. Merassi (literal)

Rivista

• Microelectronics and reliability (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Titolo

• A new on-chip test structure for real time fatigue analysis in polysilicon MEMS (literal)

Prodotto di

• Dispositivi e sistemi fotonici (MD.P03.013.001) (Modulo)
• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)

Autore CNR

• ANTONIO LONGONI (Unità di personale esterno)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
• Dispositivi e sistemi fotonici (MD.P03.013.001) (Modulo)

Autore CNR di

• ANTONIO LONGONI (Unità di personale esterno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Microelectronics and reliability (Rivista)