On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer (Contributo in atti di convegno)

Type

• Contributo in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• S. Simion, R. Marcelli, G. Barlolucci, G. Sajin, F. Craciunoiu (2008)
  On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer
  in 9th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2008, Heraklion, Greece, 30th June - 3rd July 2008
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• S. Simion, R. Marcelli, G. Barlolucci, G. Sajin, F. Craciunoiu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://books.google.it/books/about/MEMSWAVE_2008.html?id=7pC8jwEACAAJ&redir_esc=y (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Proceedings of the 9th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2008 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 4 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Nat. Institute for Micro- and Nano-Technologies, Bucuresti, Romania Military Technical Academy, Bucuresti, Romania University of Roma \"Tor Vergata\" CNR-IMM Roma (literal)

Titolo

• On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume

• AA.VV. (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#curatoriVolume

• Editor: George Konstantinidis (literal)

Abstract

• Abstract -- The paper presents an experimental method useful to characterize a multiport circuit, in particular a MEMS (M icro-Electro-Mechanical System) matrix, using a two-port VNA (V ector Network Analyzer). As example, the method is applied for a four-port circuit (a coupler). The results obtained by using this method and the expected results obtained by simulation are in good agreement. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Autore CNR

• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)
• ROMOLO MARCELLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Insieme di parole chiave di

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