Fabrication of Millimeter Wave Devices on Dielectric Membranes by Micromachining Technology (Contributo in volume (capitolo o saggio))

Type

• Contributo in volume (capitolo o saggio) (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Fabrication of Millimeter Wave Devices on Dielectric Membranes by Micromachining Technology (Contributo in volume (capitolo o saggio)) (literal)

Anno

• 2002-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1142/9789812776457_0006 (literal)

Alternative label

• F. Giacomozzi, B. Margesin, M. Zen, R. Marcelli and A. Müller (2002)
  Fabrication of Millimeter Wave Devices on Dielectric Membranes by Micromachining Technology
  World Scientific Publishing Co. Pte. Ltd., Singapore (Singapore) in Sensors and Microsystems, Proceedings of the 7th Italian Conference, 2002
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• F. Giacomozzi, B. Margesin, M. Zen, R. Marcelli and A. Müller (literal)

Pagina inizio

• 49 (literal)

Pagina fine

• 54 (literal)

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• http://www.worldscientific.com/doi/abs/10.1142/9789812776457_0006 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Sensors and Microsystems, Proceedings of the 7th Italian Conference (literal)

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• 6 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• FBK-irst, Trento CNR-IMM UOS Roma National Institute for Micro- and Nano-Technologies, Bucuresti, Romania (literal)

Titolo

• Fabrication of Millimeter Wave Devices on Dielectric Membranes by Micromachining Technology (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 981-238-181-3 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume

• AA.VV. (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#curatoriVolume

• C. Di Natale et al. (literal)

Abstract

• In this paper, the technology for the realization of micromachined millimeter wave devices on dielectric membranes will be described. Examples of filters and antennas obtained on thin trilayers made by SiO2/Si3N4/SiO2 structures will be given, and their microwave response will be shown. (literal)

Editore

• World Scientific Publishing Co. Pte. Ltd. (Editore)

Prodotto di

• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROMOLO MARCELLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Fabrication of Millimeter Wave Devices on Dielectric Membranes by Micromachining Technology" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Editore di

• World Scientific Publishing Co. Pte. Ltd. (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Fabrication of Millimeter Wave Devices on Dielectric Membranes by Micromachining Technology" (Insieme di parole chiave)