Micromachined Switches: Realization and Test (Contributo in volume (capitolo o saggio))

Type
Label
  • Micromachined Switches: Realization and Test (Contributo in volume (capitolo o saggio)) (literal)
Anno
  • 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • F. Giacomozzi, B. Margesin, L. Ferrario, V. Guarnieri, M. Zen, R. Pal and R. Marcelli (2003)
    Micromachined Switches: Realization and Test
    Editura Academiei Române, Bucuresti (Romania) in Radio Frequency MEMS, 2003
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • F. Giacomozzi, B. Margesin, L. Ferrario, V. Guarnieri, M. Zen, R. Pal and R. Marcelli (literal)
Pagina inizio
  • 18 (literal)
Pagina fine
  • 24 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume
  • Radio Frequency MEMS (literal)
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  • 4 (literal)
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  • 7 (literal)
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  • FBK-irst, Trento CNR-IMM UOS Roma (literal)
Titolo
  • Micromachined Switches: Realization and Test (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn
  • 973-27-0979-0 (literal)
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  • AA.VV. (literal)
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  • R. Plana, G. Constantinidis and A. Müller (literal)
Abstract
  • A fabrication process for the construction of micromachined switches has ben designed, developed and tested for producing mechanical test structures and actuated capacitive switches for microwave applications. (literal)
Editore
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Autore CNR
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