Istruzione Operativa Clean Room IMM-Roma (Note interne, manuali e guide)

Type
Label
  • Istruzione Operativa Clean Room IMM-Roma (Note interne, manuali e guide) (literal)
Anno
  • 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Proietti Emanuela (2003)
    Istruzione Operativa Clean Room IMM-Roma
    (literal)
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  • Proietti Emanuela (literal)
Pagina inizio
  • 1 (literal)
Pagina fine
  • 22 (literal)
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  • Il documento si apllica alle fasi operative di: Fotolitografia Laser Preparazione di Maschere Fotolitografiche Deposizione di film sottili tramite evaporazione Deposizione di film sottili tramite sputtering Deposizione di film sottili organici tramite evaporazione Ossidazione Termica Le procedure sono reperibili online nella area privata del sito www.artov.imm.cnr.it realizzato da Emanuela Proietti (literal)
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  • 22 (literal)
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  • Memorie interne (literal)
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  • Istituto per la Microelettronica e Microsistemi (literal)
Titolo
  • Istruzione Operativa Clean Room IMM-Roma (literal)
Abstract
  • Il documento ha lo scopo di descrivere le responsabilita', i documenti e le procedure di riferimento e le attivita' della Camera Pulita (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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