Plasma deposition of microcrystalline silicon: role of plasma-surface interaction on the microstructure. (Contributo in volume (capitolo o saggio))

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in volume (capitolo o saggio) (Classe)

Label

• Plasma deposition of microcrystalline silicon: role of plasma-surface interaction on the microstructure. (Contributo in volume (capitolo o saggio)) (literal)

Anno

• 2001-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• G. Cicala1, G. Bruno1 and P. Capezzuto2 (2001)
  Plasma deposition of microcrystalline silicon: role of plasma-surface interaction on the microstructure.
  Academic Press, San Diego (Stati Uniti d'America) in HANDBOOK OF SURFACES AND INTERFACES OF MATERIALS, 2001
  (literal)

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• G. Cicala1, G. Bruno1 and P. Capezzuto2 (literal)

Pagina inizio

• 509 (literal)

Pagina fine

• 541 (literal)

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• HANDBOOK OF SURFACES AND INTERFACES OF MATERIALS (literal)

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• I (literal)

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• 35 (literal)

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• 1Centro di Studio per la Chimica dei Plasmi CNR, Via Orabona, 4-70126 Bari, Italy 2Dipartimento di Chimica Universita` di Bari, Via Orabona, 4-70126 Bari, Italy (literal)

Titolo

• Plasma deposition of microcrystalline silicon: role of plasma-surface interaction on the microstructure. (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 0-12-513911-X (literal)

Editore

• Academic Press (Editore)

Prodotto di

• Dinamica di Plasmi e Laser-Plasmi (MD.P03.027.001) (Modulo)
• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)

Autore CNR

• GRAZIA CICALA (Unità di personale interno)

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Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Dinamica di Plasmi e Laser-Plasmi (MD.P03.027.001) (Modulo)

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• GRAZIA CICALA (Unità di personale interno)

Editore di

• Academic Press (Editore)