Intrinsic gettering in epi silicon prepared under different conditions (Abstract/Poster in convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Abstract/Poster in convegno (Classe)

Label

• Intrinsic gettering in epi silicon prepared under different conditions (Abstract/Poster in convegno) (literal)

Anno

• 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• C. Frigeri 1, E. Gombia 1, G. Borionetti 2, P. Godio 2 (2003)
  Intrinsic gettering in epi silicon prepared under different conditions
  in EDS 2002, International Conference on Extended Defects in Semiconductors, Bologna, 1-6 giugno 2002
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• C. Frigeri 1, E. Gombia 1, G. Borionetti 2, P. Godio 2 (literal)

Pagina inizio

• IIP-50 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Abstract book (literal)

Note

• Abstract (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1 CNR-IMEM, PArma, Italy; 2 MEMC Electronic Materials, Novara, Italy (literal)

Titolo

• Intrinsic gettering in epi silicon prepared under different conditions (literal)

Prodotto di

• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)
• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)

Autore CNR

• ENOS GOMBIA (Persona)
• CESARE FRIGERI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Intrinsic gettering in epi silicon prepared under different conditions" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)

Autore CNR di

• ENOS GOMBIA (Persona)
• CESARE FRIGERI (Persona)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Intrinsic gettering in epi silicon prepared under different conditions" (Insieme di parole chiave)