Surface acoustic wave humidity sensor based on TiO2 sensitive membrane (Contributo in atti di convegno)

Type

• Contributo in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Surface acoustic wave humidity sensor based on TiO2 sensitive membrane (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 1997-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• C. Caliendo, E. Verona (1997)
  Surface acoustic wave humidity sensor based on TiO2 sensitive membrane
  in NATIONAL MEETING ON SENSORS FOR ADVANCED APPLICATIONS SAA'96, BRESCIA, ITALY, MAY 16-17, 1996
  (literal)

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• C. Caliendo, E. Verona (literal)

Pagina inizio

• 139 (literal)

Pagina fine

• 145 (literal)

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• Sensors for Advanced Applications (SAA 96) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• IDS Number: BH67S (literal)

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• 54 (literal)

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• 7 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

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• Istituto di Acustica Corbino CNR (literal)

Titolo

• Surface acoustic wave humidity sensor based on TiO2 sensitive membrane (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 88-7794-087-5 (literal)

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• Editor(s): Sberveglieri, G; Tondello, E (literal)

Abstract

• This paper reports the calibration of TiO2 membrane proposed as active material for acoustic humidity sensors. The prototype device has been prepared depositing the sensitive membrane by r.f. reactive magnetron sputtering technique onto a quartz substrate on which previously a surface acoustic wave (SAW) delay line has been photolitographically defined. The calibration of the sensor have been performed varying the humidity of the ambient from 10% to 80% at controlled temperature and measuring the changes produced in the physical properties of the membrane by the sorption and desorption of the humidity. (literal)

Editore

• EDITRICE COMPOSITORI BOLOGNA (Editore)

Prodotto di

• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)

Autore CNR

• ENRICO VERONA (Unità di personale esterno)
• CINZIA CALIENDO (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• CINZIA CALIENDO (Persona)
• ENRICO VERONA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)

Editore di

• EDITRICE COMPOSITORI BOLOGNA (Editore)