X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY INVESTIGATION ON THE CHEMICAL-STRUCTURE OF AMORPHOUS-SILICON NITRIDE (a-SINX) (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY INVESTIGATION ON THE CHEMICAL-STRUCTURE OF AMORPHOUS-SILICON NITRIDE (a-SINX) (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 1989-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1116/1.576314 (literal)

Alternative label

• G.M. INGO, N. ZACCHETTI, D. DELLA SALA, C. COLUZZA (1989)
  X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY INVESTIGATION ON THE CHEMICAL-STRUCTURE OF AMORPHOUS-SILICON NITRIDE (a-SINX)
  in Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• G.M. INGO, N. ZACCHETTI, D. DELLA SALA, C. COLUZZA (literal)

Pagina inizio

• 3048 (literal)

Pagina fine

• 3055 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 7 (literal)

Rivista

• Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 8 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 5 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• G.M. INGO [1,2], N. ZACCHETTI [1], D. DELLA SALA [2], C. COLUZZA [3] [1] CENTRO SVILUPPO MATERIALI, I-10747 ROME, ITALY - CNR Istituto Teoria e Struttura Elettronica, 00016 Monterotondo Rome, Italy. [2] ENIRICERCHE SPA,I-00015 ROME, ITALY [3] UNIVERSITA' LA SAPIENZA, DIPARTIMENTO FISICA,I-00185 ROME, ITALY (literal)

Titolo

• X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY INVESTIGATION ON THE CHEMICAL-STRUCTURE OF AMORPHOUS-SILICON NITRIDE (a-SINX) (literal)

Abstract

• Amorphous silicon nitride a-SiNx (0

Prodotto di

• Istituto per lo studio dei materiali nanostrutturati (ISMN) (Istituto)
• Sintesi e crescita di film e superfici nanostrutturate (PM.P05.004.002) (Modulo)

Autore CNR

• GABRIEL MARIA INGO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY INVESTIGATION ON THE CHEMICAL-STRUCTURE OF AMORPHOUS-SILICON NITRIDE (a-SINX)" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto per lo studio dei materiali nanostrutturati (ISMN) (Istituto)
• Sintesi e crescita di film e superfici nanostrutturate (PM.P05.004.002) (Modulo)

Autore CNR di

• GABRIEL MARIA INGO (Unità di personale interno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "X-RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY INVESTIGATION ON THE CHEMICAL-STRUCTURE OF AMORPHOUS-SILICON NITRIDE (a-SINX)" (Insieme di parole chiave)