A Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• A Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2010-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/JSEN.2010.2046889 (literal)

Alternative label

• Paolo Bruschi; Michele Dei; Massimo Piotto (2010)
  A Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors
  in IEEE sensors journal; IEEE-Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc., Piscataway (Stati Uniti d'America)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Paolo Bruschi; Michele Dei; Massimo Piotto (literal)

Pagina inizio

• 1589 (literal)

Pagina fine

• 1597 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 10 (literal)

Rivista

• IEEE sensors journal (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#note

• ISSN: 1530-437X (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 9 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 10 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)
• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, I-56122 Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell'Informazione, University of Pisa, I-56122 Pisa, Italy IEIIT-Pisa CNR, 56122 Pisa, Italy (literal)

Titolo

• A Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors (literal)

Abstract

• Microelectromechanical systems (MEMS)-based thermal flow sensors are considerably more sensitive to pressure than traditional macroscopic devices. This fact, due to the micrometric dimensions of MEMS sensors, limits the accuracy of the latter when large pressure variations cannot be avoided. In this work, we propose an original pressure compensation method that exploits the same signals produced by the flow sensor to detect the pressure variations and to control the heater power according to a closed loop approach. A first-order model is used to explain the operating principle and optimize the parameters of the feedback loop. A readout interface based on the proposed approach, has been built and applied to MEMS thermal flow sensors. Experimental results are presented to demonstrate the effectiveness of the method. (literal)

Editore

• IEEE-Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc. (Editore)

Prodotto di

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)
• Sistemi e dispositivi per le tecnologie dell'informazione (ICT.P07.001.001) (Modulo)

Autore CNR

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "A Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)
• Sistemi e dispositivi per le tecnologie dell'informazione (ICT.P07.001.001) (Modulo)

Autore CNR di

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• IEEE sensors journal (Rivista)

Editore di

• IEEE-Institute Of Electrical And Electronics Engineers Inc. (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "A Method to Compensate the Pressure Sensitivity of Integrated Thermal Flow Sensors" (Insieme di parole chiave)