Electrical and Noise Characterization of Suspended Silicon Wires (Articolo in rivista)

Type
Label
  • Electrical and Noise Characterization of Suspended Silicon Wires (Articolo in rivista) (literal)
Anno
  • 2002-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi
  • 10.1016/S0167-9317(02)00439-2 (literal)
Alternative label
  • M. Macucci; B. Pellegrini; G. Pennelli; M. Piotto (2002)
    Electrical and Noise Characterization of Suspended Silicon Wires
    in Microelectronic engineering; North Holland Pub. Co., Amsterdam (Paesi Bassi)
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • M. Macucci; B. Pellegrini; G. Pennelli; M. Piotto (literal)
Pagina inizio
  • 701 (literal)
Pagina fine
  • 705 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume
  • 61-62 (literal)
Rivista
Note
  • ISI Web of Science (WOS) (literal)
  • Scopu (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • Dipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria della Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Universita` di Pisa, Italy (literal)
Titolo
  • Electrical and Noise Characterization of Suspended Silicon Wires (literal)
Abstract
  • We present the fabrication of suspended silicon nanowires using 1 mum resolution conventional photolithography, anisotropic wet etching and thermal oxidation. A minimum transverse dimension of about 50 nm was achieved in some of the wires. We characterized the wires from the electrical and noise points of view, comparing the behavior at room temperature and at 77 K, and discuss possible hypotheses to explain the observed differences. (literal)
Editore
Prodotto di
Autore CNR
Insieme di parole chiave

Incoming links:


Prodotto
Autore CNR di
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi
Editore di
Insieme di parole chiave di
data.CNR.it