Equivalent Model of a Magnetron Sputtering Device with Ferromagnetic Yoke (Articolo in rivista)

Type
Label
  • Equivalent Model of a Magnetron Sputtering Device with Ferromagnetic Yoke (Articolo in rivista) (literal)
Anno
  • 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Desideri D.; Maschio A.; Micu D.D.; Miron O.R.; Spolaore M. (2012)
    Equivalent Model of a Magnetron Sputtering Device with Ferromagnetic Yoke
    in Przeglad Elektrotechniczny; Wydawnictwo Sigma - NOT, Warsaw (Polonia)
    (literal)
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  • Desideri D.; Maschio A.; Micu D.D.; Miron O.R.; Spolaore M. (literal)
Pagina inizio
  • 134 (literal)
Pagina fine
  • 137 (literal)
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  • Titolo dell'articolo in lingua polacca: Ekwiwalentny model magnetronu napylaja{ogonek}cego z jarzmem magnetycznym; Traduzione inglese del titolo della rivista: Electrical Review (literal)
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  • 88 (literal)
Rivista
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  • 4 (literal)
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  • 7B (literal)
Note
  • ISI Web of Science (WOS) (literal)
  • Scopu (literal)
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  • a University of Padova, Department of Industrial Engineering, Via Gradenigo 6/a, I 35131 Padova, Italy; b Technical University of Cluj-Napoca, Department of Electrical Engineering, Str. Baritiu 26-28, RO 400020 Cluj-Napoca, Romania; c Consorzio RFX, Euratom-ENEA Fusion Association, Corso Stati Uniti 4, I 35127 Padova, Italy. (Desideri, D.a , Maschio, A.a , Micu, D.D.b , Miron, O.R.b , Spolaore, M.c) (literal)
Titolo
  • Equivalent Model of a Magnetron Sputtering Device with Ferromagnetic Yoke (literal)
Abstract
  • Two magnetron-sputtering devices have been numerically analyzed, experimentally validating the results. It has been inferred that a ferromagnetic yoke is not present in the first device, while the second one has a ferromagnetic yoke. It is shown that either the adding of the yoke, in the first case, or the removal of the yoke, in the second one, has limited effects in the magnetic configuration over the cathode. The same result has been obtained in a dummy case, where a parametric analysis considering devices with different sizes, with and without yoke, has been performed. (literal)
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