Stress-driven AlN cantilever-based flow sensor for fish lateral line system (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Stress-driven AlN cantilever-based flow sensor for fish lateral line system (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2011-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.mee.2011.02.091 (literal)

Alternative label

• A. Qualtieri, F. Rizzi, M.T. Todaro, A. Passaseo, R. Cingolani, M. De Vittorio (2011)
  Stress-driven AlN cantilever-based flow sensor for fish lateral line system
  in Microelectronic engineering
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• A. Qualtieri, F. Rizzi, M.T. Todaro, A. Passaseo, R. Cingolani, M. De Vittorio (literal)

Pagina inizio

• 2376 (literal)

Pagina fine

• 2378 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 88 (literal)

Rivista

• Microelectronic engineering (Rivista)

Note

• Scopus (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• [A. Qualtieri, F. Rizzi, M. De Vittorio] Italian Institute of Technology (IIT), Center for Bio-Molecular Nanotechnology, Via Barsanti, 1, 73010 Arnesano (Lecce), Italy [M.T. Todaro, A. Passaseo, M. De Vittorio] National Nanotechnology Laboratory of CNR/INFM, Scuola Superiore ISUFI, University of Salento, Via Per Arnesano, 73100 Arnesano (Lecce), Italy [R. Cingolani] Italian Institute of Technology (IIT), Via Morego, 30, 16163 Genova, Italy, Italy (literal)

Titolo

• Stress-driven AlN cantilever-based flow sensor for fish lateral line system (literal)

Abstract

• In this work, we report on the fabrication and characterization of stress-driven aluminum nitride (AlN) cantilevers to be applied as flow sensor for fish lateral line system. The fabricated structures exploit a multilayered cantilever AlN/molybdenum (Mo) and a Nichrome 80/20 alloy as piezoresistor. Cantilever arrays are realized by using conventional micromachining techniques involving optical lithography and etching processes. The fabrication of the piezoresistive cantilevers is reported and the operation of the cantilever as flow sensor has been investigated by electrical measurement under nitrogen flowing condition showing a sensitivity to directionality and to low value applied forces. (literal)

Autore CNR

• ROBERTO CINGOLANI (Unità di personale esterno)
• MASSIMO DE VITTORIO (Persona)
• MARIA TERESA TODARO (Unità di personale interno)
• ADRIANA GRAZIA PASSASEO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Stress-driven AlN cantilever-based flow sensor for fish lateral line system" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ADRIANA GRAZIA PASSASEO (Unità di personale interno)
• MARIA TERESA TODARO (Unità di personale interno)
• ROBERTO CINGOLANI (Unità di personale esterno)
• MASSIMO DE VITTORIO (Persona)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Microelectronic engineering (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Stress-driven AlN cantilever-based flow sensor for fish lateral line system" (Insieme di parole chiave)