Two-dimensional Photonic Crystal Waveguide obtained by e-beam direct writing of SU8-2000 Photoresist (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Two-dimensional Photonic Crystal Waveguide obtained by e-beam direct writing of SU8-2000 Photoresist (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2004-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.mee.2004.02.075 (literal)

Alternative label

• M. De Vittorio; M.T. Todaro; T. Stomeo; R. Cingolani; D. Cojoc; E. Di Fabrizio; (2004)
  Two-dimensional Photonic Crystal Waveguide obtained by e-beam direct writing of SU8-2000 Photoresist
  in Microelectronic engineering
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• M. De Vittorio; M.T. Todaro; T. Stomeo; R. Cingolani; D. Cojoc; E. Di Fabrizio; (literal)

Pagina inizio

• 388 (literal)

Pagina fine

• 391 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 73-74 (literal)

Rivista

• Microelectronic engineering (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• National Nanotechnology Laboratory (NNL - INFM), Dipartimento di Ingegneria dell'Innovazione, Universitá di Lecce, Via Arnesano, 73100 Leece, Italy (M. De Vittorio; M.T. Todaro; T. Stomeo; R. Cingolani); NNL-TASC-INFM, s.s. 14 Km 163.5 34012, Basovizza-Trieste, Italy (D. Cojoc; E. Di Fabrizio) (literal)

Titolo

• Two-dimensional Photonic Crystal Waveguide obtained by e-beam direct writing of SU8-2000 Photoresist (literal)

Abstract

• We report on the direct electron-beam patterning of a negative tone resist SU8-2000 for the fabrication of a two-dimensionalphotoniccrystal (2D-PC) waveguide. The high refractive index of the SU8-2000 (about 1.69), its transparency above 360 nm, the good mechanical stability and the possibility of direct patterning by electron-beam lithography, make such resist ideal for the direct realization of high-resolution photoniccrystal waveguides. The fabrication of a triangular array of sub-micron pillars (lattice constant of 300 nm and filling factor of 0.35) suitable for the realization of a 2D-PC waveguide on a glass substrate is reported. The energy dispersion diagram, calculated by the plane wave expansion technique, shows that this 2D-PC structure has a small photonic band gap (PBG) for the TM-like modes. (literal)

Autore CNR

• DANUT ADRIAN COJOC (Unità di personale interno)
• ENZO MARIO DI FABRIZIO (Persona)
• TIZIANA STOMEO (Persona)
• MARIA TERESA TODARO (Unità di personale interno)
• ROBERTO CINGOLANI (Unità di personale esterno)
• MASSIMO DE VITTORIO (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• DANUT ADRIAN COJOC (Unità di personale interno)
• MARIA TERESA TODARO (Unità di personale interno)
• ROBERTO CINGOLANI (Unità di personale esterno)
• MASSIMO DE VITTORIO (Persona)
• TIZIANA STOMEO (Persona)
• ENZO MARIO DI FABRIZIO (Persona)

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• Microelectronic engineering (Rivista)