Role of C and Ge in the electrical activation of In implanted in Silicon. (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Role of C and Ge in the electrical activation of In implanted in Silicon. (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2004-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• S. Scalese, V. Privitera, M. Italia, A. La Magna, P. Alippi, L. Renna (2004)
  Role of C and Ge in the electrical activation of In implanted in Silicon.
  in Symposium on Silicon Front-End Junction Formation-Physics and Technology held at the 2004 MRS Spring Meeting, S. Francisco (USA), 13-15 Aprile 2004
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• S. Scalese, V. Privitera, M. Italia, A. La Magna, P. Alippi, L. Renna (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• SILICON FRONT-END JUNCTION FORMATION-PHYSICS AND TECHNOLOGY (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#volumeInCollana

• 810 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM, Catania (Italy) ST-Microelectronics, Catania (Italy) (literal)

Titolo

• Role of C and Ge in the electrical activation of In implanted in Silicon. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• PAOLA ALIPPI (Persona)
• SILVIA SCALESE (Persona)
• MARKUS ITALIA (Persona)
• VITTORIO PRIVITERA (Persona)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• VITTORIO PRIVITERA (Persona)
• MARKUS ITALIA (Persona)
• PAOLA ALIPPI (Persona)
• SILVIA SCALESE (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)