Dopant profiling on ultrashallow junctions in Si with ADF-STEM (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • Dopant profiling on ultrashallow junctions in Si with ADF-STEM (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Parisini A., Giubertoni D., Bersani M., Ferri M., Morandi V., Merli P.G. (2007)
    Dopant profiling on ultrashallow junctions in Si with ADF-STEM
    in 8th Multinational Congress on Microscopy (MCM8), Praga
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • Parisini A., Giubertoni D., Bersani M., Ferri M., Morandi V., Merli P.G. (literal)
Titolo
  • Dopant profiling on ultrashallow junctions in Si with ADF-STEM (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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