Production of clusters and thin films of nitrides, oxides and carbides by pulsed laser ablation and deposition. (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Production of clusters and thin films of nitrides, oxides and carbides by pulsed laser ablation and deposition. (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2004-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

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• 10.1155/s1110662X04000042 (literal)

Alternative label

• Orlando S.; Paladini A.; Santangata A.; Marotta V.; Parisi G.P.; Satta M.; Scuderi D.; Catone D.; Giardini A.; Mele A. (2004)
  Production of clusters and thin films of nitrides, oxides and carbides by pulsed laser ablation and deposition.
  in International Journal of Photoenergy (Print)
  (literal)

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• Orlando S.; Paladini A.; Santangata A.; Marotta V.; Parisi G.P.; Satta M.; Scuderi D.; Catone D.; Giardini A.; Mele A. (literal)

Pagina inizio

• 23 (literal)

Pagina fine

• 28 (literal)

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• http://www.hindawi.com/journals/ijp/2004/109473/abs/ (literal)

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• 6 (literal)

Rivista

• International Journal of Photoenergy (Print) (Rivista)

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• Hindawi. (literal)

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• 6 (literal)

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• 1 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

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• 1 CNR-IMIP (sezione Istituto Materiali Speciali), I-85050 Tito Scalo (Pz), Italy 2 Dipartimento di Chimica, Università di Roma \"La Sapienza\", pl. A. Moro 5, I-00185 Roma, Italy 3 Facoltà di Farmacia, Dipartimento di Studi di Chimica e Tecnologia delle Sostanze Biologicamente Attive, Università di Roma \"La Sapienza\", pl. A. Moro 5, I-00185 Roma, Italy (literal)

Titolo

• Production of clusters and thin films of nitrides, oxides and carbides by pulsed laser ablation and deposition. (literal)

Abstract

• Thin films of boron nitride (BN) have been deposited on Si(1 0 0) substrates by reactive pulsed laser ablation (PLA) of a boron target in the presence of a 13.56 MHz radio frequency (RF) nitrogen plasma. The gaseous species have been deposited at several substrate temperatures, using the on-axis configuration. The film properties have been investigated by Scanning Electron Microscopy, Atomic Force Microscopy, Fourier Transformed Infrared Spectroscopy, and X-ray diffraction characterization techniques, and compared to those resulting from the conventional PLA method. The behavior of hexagonal-BN and cubic-BN phases grown by PLA as function of substrate temperature is also reported. (literal)

Prodotto di

• Realizzazione e studio di sistemi complessi Organico/Inorganico (MD.P02.007.001) (Modulo)
• Interazione Laser Materia (MD.P03.030.001) (Modulo)
• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)

Autore CNR

• MAURO SATTA (Persona)
• ANTONIO SANTAGATA (Persona)
• ALESSANDRA PALADINI (Persona)
• ANNA GIARDINI (Persona)
• IDA VERONICA MAROTTA (Persona)
• GIOVANNI POMPEO PARISI (Unità di personale interno)
• STEFANO ORLANDO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Production of clusters and thin films of nitrides, oxides and carbides by pulsed laser ablation and deposition." (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Realizzazione e studio di sistemi complessi Organico/Inorganico (MD.P02.007.001) (Modulo)
• Interazione Laser Materia (MD.P03.030.001) (Modulo)

Autore CNR di

• IDA VERONICA MAROTTA (Persona)
• STEFANO ORLANDO (Unità di personale interno)
• GIOVANNI POMPEO PARISI (Unità di personale interno)
• MAURO SATTA (Persona)
• ANTONIO SANTAGATA (Persona)
• ALESSANDRA PALADINI (Persona)
• ANNA GIARDINI (Persona)

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• International Journal of Photoenergy (Print) (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Production of clusters and thin films of nitrides, oxides and carbides by pulsed laser ablation and deposition." (Insieme di parole chiave)