PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.electacta.2004.10.095 (literal)

Alternative label

• G.A. Battiston; D. Berto; A. Convertino; D. Emiliani; A. Figueras; R. Gerbasi; S. Viticoli (2005)
  PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor
  in Electrochimica acta; Academic Press Elsevier, Amsterdam (Paesi Bassi)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• G.A. Battiston; D. Berto; A. Convertino; D. Emiliani; A. Figueras; R. Gerbasi; S. Viticoli (literal)

Pagina inizio

• 4600 (literal)

Pagina fine

• 4604 (literal)

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• electrochemistry IF=2.453 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0013468605005098 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 50 (literal)

Rivista

• Electrochimica acta (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 23 (literal)

Note

• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1-2-4-6°: Istituto di Chimica Inorganica e delle Superfici del C.N.R., Padova 3°:Istituto di Chimica Inorganica e delle Superfici del C.N.R., Padova - Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati del C.N.R., Monterotondo, Roma, Italy 5°: ICMAB/CSIC, Campus UAB, 08193 Bellaterra, Spain - Centro de Fisica Aplicada y Tecnologia Avanzada-UNAM, Santiago de Querétaro, QRO, CP 76000, Mexico 7°:Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati del C.N.R., Via Salaria Km. 29.3, 00016 Monterotondo, St. Roma, Italy (literal)

Titolo

• PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor (literal)

Abstract

• Boron nitride (BN) thin films have been successfully synthesised via low pressure plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) by using boranedimethylamine, BH3NH(CH3)2, as a single source precursor in the temperature range 280-550 °C in a nitrogen-argon atmosphere. The plasma power was optimised with the aim of obtaining suitable cubic/hexagonal phase ratios. The annealing of the h-BN films at temperatures up to 1000 °C in a nitrogen atmosphere, at normal pressure, gave rise to a complete transformation into the cubic phase. FTIR measurements provided a suitable method for identifying the structure of BN films. UV-vis spectroscopy was carried out in order to investigate the optical behaviour of the films. (literal)

Editore

• Academic Press Elsevier (Editore)

Prodotto di

• Progettazione di Nuovi Precursori Molecolari per Nanosistemi e Ottimizzazione del Processo MOCVD per la Fabbricazione e/o Modifica delle Funzionalità delle Superfici (PM.P05.001.001) (Modulo)
• Istituto di chimica inorganica e delle superfici (ICIS) (Istituto)
• Istituto per lo studio dei materiali nanostrutturati (ISMN) (Istituto)
• Sintesi e crescita di film e superfici nanostrutturate (PM.P05.004.002) (Modulo)

Autore CNR

• GIOVANNI BATTISTON (Unità di personale interno)
• ROSALBA GERBASI (Unità di personale interno)
• ANNALISA CONVERTINO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di chimica inorganica e delle superfici (ICIS) (Istituto)
• Istituto per lo studio dei materiali nanostrutturati (ISMN) (Istituto)
• Progettazione di Nuovi Precursori Molecolari per Nanosistemi e Ottimizzazione del Processo MOCVD per la Fabbricazione e/o Modifica delle Funzionalità delle Superfici (PM.P05.001.001) (Modulo)
• Sintesi e crescita di film e superfici nanostrutturate (PM.P05.004.002) (Modulo)

Autore CNR di

• ROSALBA GERBASI (Unità di personale interno)
• GIOVANNI BATTISTON (Unità di personale interno)
• ANNALISA CONVERTINO (Unità di personale interno)

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• Electrochimica acta (Rivista)

Editore di

• Academic Press Elsevier (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor" (Insieme di parole chiave)