Sistema per prove rapide, a livello wafer, di elettromigrazione con tecnica isoterma (ISOT), particolarmente orientato a misure su strutture Cu-damascene (Progetti)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Progetti (Classe)

Label

• Sistema per prove rapide, a livello wafer, di elettromigrazione con tecnica isoterma (ISOT), particolarmente orientato a misure su strutture Cu-damascene (Progetti) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Impronta M, Farris S (2005)
  Sistema per prove rapide, a livello wafer, di elettromigrazione con tecnica isoterma (ISOT), particolarmente orientato a misure su strutture Cu-damascene
  
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Impronta M, Farris S (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#note

• Il know-how hardware/software di questo sistema è stato trasferito ad ST-Microelectronics. (literal)

Titolo

• Sistema per prove rapide, a livello wafer, di elettromigrazione con tecnica isoterma (ISOT), particolarmente orientato a misure su strutture Cu-damascene (literal)

Prodotto di

• Tecniche di caratterizzazione elettrica ed affidabilistica di dispositivi nanoelettronici e microelettronici ultrascalati (MD.P05.017.002) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• MAURIZIO PIO IMPRONTA (Unità di personale interno)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Tecniche di caratterizzazione elettrica ed affidabilistica di dispositivi nanoelettronici e microelettronici ultrascalati (MD.P05.017.002) (Modulo)

Autore CNR di

• MAURIZIO PIO IMPRONTA (Unità di personale interno)