SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures (Contributo in volume (capitolo o saggio))

Type

• Contributo in volume (capitolo o saggio) (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures (Contributo in volume (capitolo o saggio)) (literal)

Anno

• 2010-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Andrea Lucibello, G. De Angelis, M. Maiani, E. Proietti, Romolo Marcelli (2010)
  SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures
  Editura Academiei Române, Bucuresti (Romania) in Microwave and Millimeter Wave MEMS, 2010
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Andrea Lucibello, G. De Angelis, M. Maiani, E. Proietti, Romolo Marcelli (literal)

Pagina inizio

• 161 (literal)

Pagina fine

• 168 (literal)

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• Bucuresti (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.nano-link.net/mne/ (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Microwave and Millimeter Wave MEMS (literal)

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• 17 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 8 (literal)

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• CNR-IMM Roma (literal)

Titolo

• SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#inCollana

• Microwave and Millimeter Wave MEMS (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 978-973-27-1916-9 (literal)

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• AA.VV. (literal)

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• Flavio Giacomozzi, Alexandru Muller, Dan Dascalu and Robert Plana (literal)

Abstract

• The utilization of negative resisit SU-8 for manufacturing RF MEMS switches has been studied. (literal)

Editore

• Editura Academiei Române (Editore)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Autore CNR

• ANDREA LUCIBELLO (Unità di personale interno)
• MARCO MAIANI (Persona)
• EMANUELA PROIETTI (Persona)
• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• GIORGIO DE ANGELIS (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• EMANUELA PROIETTI (Persona)
• MARCO MAIANI (Persona)
• GIORGIO DE ANGELIS (Persona)
• ANDREA LUCIBELLO (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Editore di

• Editura Academiei Române (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "SU-8 based Processes for the Realization of RF MEMS Structures" (Insieme di parole chiave)