Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process (Comunicazione a convegno)

Type
Label
  • Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process (Comunicazione a convegno) (literal)
Anno
  • 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • A. Milanov, K. Xu, H. Parala, D. Barreca, R.A. Fischer, A. Devi (2008)
    Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process
    in 8th International Conference on Atomic Layer Deposition, Bruges, Belgium, 29 Giugno-2 Luglio 2008
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • A. Milanov, K. Xu, H. Parala, D. Barreca, R.A. Fischer, A. Devi (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • 1,2,3,5,6: Ruhr-University Bochum, Inorganic Materials Chemistry - Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, D-44780 Bochum, Germany 4: ISTM-CNR and INSTM - Padova University, Department of Chemistry, 35131 Padova, Italy (literal)
Titolo
  • Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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Autore CNR di
data.CNR.it