http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID123617
Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process (Comunicazione a convegno)
- Type
- Label
- Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process (Comunicazione a convegno) (literal)
- Anno
- 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Alternative label
A. Milanov, K. Xu, H. Parala, D. Barreca, R.A. Fischer, A. Devi (2008)
Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process
in 8th International Conference on Atomic Layer Deposition, Bruges, Belgium, 29 Giugno-2 Luglio 2008
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- A. Milanov, K. Xu, H. Parala, D. Barreca, R.A. Fischer, A. Devi (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- 1,2,3,5,6: Ruhr-University Bochum, Inorganic Materials Chemistry - Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, D-44780 Bochum, Germany
4: ISTM-CNR and INSTM - Padova University, Department of Chemistry, 35131 Padova, Italy (literal)
- Titolo
- Volatile guanidinate-based metalorganic precursors for ALD process (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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