Fabrication at wafer level of miniaturized gas sensors based on SnO2 nanorods deposited by PECVD and gas sensing characteristics (Comunicazione a convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Comunicazione a convegno (Classe)

Label

• Fabrication at wafer level of miniaturized gas sensors based on SnO2 nanorods deposited by PECVD and gas sensing characteristics (Comunicazione a convegno) (literal)

Anno

• 2010-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Forleo, L. Francioso, S. Capone, F. Casino, P. Sicilian, H. Huang, O.K. Tan (2010)
  Fabrication at wafer level of miniaturized gas sensors based on SnO2 nanorods deposited by PECVD and gas sensing characteristics
  in MEMSWAVE 2010 & MEMS in Italy, Otranto
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Forleo, L. Francioso, S. Capone, F. Casino, P. Sicilian, H. Huang, O.K. Tan (literal)

Titolo

• Fabrication at wafer level of miniaturized gas sensors based on SnO2 nanorods deposited by PECVD and gas sensing characteristics (literal)

Prodotto di

• Sensori e Microsistemi Intelligenti per la Sicurezza e la Qualità della vita nei settori Agroalimentare, Trasporti ed \"Ambient Assisted Living\" (MD.P05.010.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ANNARITA CAPONE (Persona)
• PAOLO CASTELLI (Unità di personale interno)
• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• ANGIOLA FORLEO (Unità di personale interno)
• LUCA NUNZIO FRANCIOSO (Persona)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sensori e Microsistemi Intelligenti per la Sicurezza e la Qualità della vita nei settori Agroalimentare, Trasporti ed \"Ambient Assisted Living\" (MD.P05.010.001) (Modulo)

Autore CNR di

• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• LUCA NUNZIO FRANCIOSO (Persona)
• ANGIOLA FORLEO (Unità di personale interno)
• PAOLO CASTELLI (Unità di personale interno)
• ANNARITA CAPONE (Persona)