ALD mechanisms in the growth of amorphous Al2O3 onto different substrates (Comunicazione a convegno)

Type
Label
  • ALD mechanisms in the growth of amorphous Al2O3 onto different substrates (Comunicazione a convegno) (literal)
Anno
  • 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Ghilardelli E., Pelosi C., Frigeri C., Chiavarotti G. (2007)
    ALD mechanisms in the growth of amorphous Al2O3 onto different substrates
    in 12th European Workshop on Metalorganic Vapour phase Epitaxy, Bratislava (SK), 3-6 giugno 2007
    (literal)
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  • Ghilardelli E., Pelosi C., Frigeri C., Chiavarotti G. (literal)
Pagina inizio
  • 313 (literal)
Pagina fine
  • 313 (literal)
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  • abstract book (literal)
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  • CNR-IMEM Institute, Parco Area delle Scienze 37/A, 43100 Parma, Italy (literal)
Titolo
  • ALD mechanisms in the growth of amorphous Al2O3 onto different substrates (literal)
Prodotto di
Autore CNR
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