EBIC study of internal vs external and B-activated gettering in Epi Silicon on Cz substrates (Abstract/Poster in atti di convegno)

Type
Label
  • EBIC study of internal vs external and B-activated gettering in Epi Silicon on Cz substrates (Abstract/Poster in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Frigeri C.1, Borionetti G.2, Godio P.2 (2003)
    EBIC study of internal vs external and B-activated gettering in Epi Silicon on Cz substrates
    in MSM XIII - 13th Conference on Microscopy of Semiconducting Materials, Cambridge (UK), 31 March - 3 April 2003
    (literal)
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  • Frigeri C.1, Borionetti G.2, Godio P.2 (literal)
Pagina inizio
  • 15 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume
  • abstract book (literal)
Note
  • Abstract (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • 1 CNR-IMEM, PArma, Italy 2 MEMC Electronic Materials, Novara, Italy (literal)
Titolo
  • EBIC study of internal vs external and B-activated gettering in Epi Silicon on Cz substrates (literal)
Prodotto di
Autore CNR
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