Parole chiave di "Acceptor, compensation, and mobility profiles in multiple Al implanted 4H-SiC"
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- Acceptor, compensation, and mobility profiles in multiple Al implanted 4H-SiC (Articolo in rivista) (Prodotto della ricerca)
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- Silicon carbide (Parola chiave)
- scanning probe microscopy (Parola chiave)
- electrical activation (Parola chiave)
- Al implantation (Parola chiave)
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