Keywords of "Thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of hafnium oxide on semiconductor substrates"

Label

• Keywords of "Thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of hafnium oxide on semiconductor substrates" (literal)
• Parole chiave di "Thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of hafnium oxide on semiconductor substrates" (literal)

Insieme di parole chiave di

• Thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of hafnium oxide on semiconductor substrates (Contributo in atti di convegno) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1301)

Ha membro

• Atomic layer deposition (Parola chiave)
• dielectric (Parola chiave)
• permittivity (Parola chiave)
• hafnium oxide (Parola chiave)

Incoming links:

Insieme di parole chiave

• Thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of hafnium oxide on semiconductor substrates (Contributo in atti di convegno) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1301)

Membro di

• permittivity (Parola chiave)
• Atomic layer deposition (Parola chiave)
• dielectric (Parola chiave)
• hafnium oxide (Parola chiave)