Keywords of "Conventional thermal annealing for a more efficient p-type doping of Al+ implanted 4H-SiC"
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- Conventional thermal annealing for a more efficient p-type doping of Al+ implanted 4H-SiC (Articolo in rivista) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)
- Ha membro
- PHOSPHORUS (Parola chiave)
- RESISTIVITY (Parola chiave)
- NITROGEN (Parola chiave)
- SOLUBILITY (Parola chiave)
- DEPENDENCE (Parola chiave)
- ELECTRICAL ACTIVATION (Parola chiave)
- OHMIC CONTACTS (Parola chiave)
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- DEPENDENCE (Parola chiave)
- NITROGEN (Parola chiave)
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