Parole chiave di "Formation and incorporation of SiF4 molecules in F-implanted preamorphized Si"
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- Formation and incorporation of SiF4 molecules in F-implanted preamorphized Si (Articolo in rivista) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)
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- shallow junctions (Parola chiave)
- XAFS (Parola chiave)
- ion implantation (Parola chiave)
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- XAFS (Parola chiave)
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