Micro-dispositivi acusto-opto-elettronici e Sensori di grandezze chimiche e fisiche (MD.P05.029)

Type
Label
  • Micro-dispositivi acusto-opto-elettronici e Sensori di grandezze chimiche e fisiche (MD.P05.029) (literal)
Modulo
Progetto
Codice
  • MD.P05.029 (literal)
Anno di chiusura previsto
  • 2014-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Dipartimento
Istituto esecutore
Primo anno di attività
  • 2014-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Abstract
  • La ricerca ha come tema i dispositivi micro-fabbricati con particolare attenzione ai dispositivi micro-elettromeccanici (MEMS) ad attuazione piezoelettrica e ai dispositivi microelettronici. L'attività è articolata in diverse linee di ricerca come la progettazione e realizzazione di micro-dispositivi basati sulla propagazione delle onde acustiche superficiali (SAW) e di volume (BAW) nei solidi, dispositivi acusto-ottici e dispositivi elettronici basati su materiali innovativi. Questi trovano impiego in diversi settori dell'elettronica civile e industriale, nelle telecomunicazioni, nelle tecniche radar, in quelle delle contro-misure elettroniche, ecc. Le nostre ricerche saranno orientate ai diversi settori di applicazione, ma con particolare attenzione ai sensori fisici e chimici ed ai biosensori. Per la fabbricazione di questi vengono utilizzate tecniche fotolitografiche, tecniche di deposizione di film sottili di ossidi e metalli (sputtering ed evaporazione), tecniche di crescita di materiali piezoelettrici (AlN, ZnO, PZT, BST, ecc.), come il reactive sputtering e la PLD, tecniche innovative di deposizione di polimeri e biomolecole (come la Laser Induced Forward Transfer). (literal)
Nome
  • Micro-dispositivi acusto-opto-elettronici e Sensori di grandezze chimiche e fisiche (literal)
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