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					<div class="scheda"><h1>Microelectronic engineering</h1>
<dl><dt>Label</dt><dd><ul><li>Microelectronic engineering (literal)</li></ul></dd><dt>Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID283280'>ZnO nanowires strips growth: Template reliability and morphology study (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24570'>Design and fabrication of on-fiber diffractive elements for fiber-waveguide coupling by means of e-beam lithography. (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35824'>Temperature dependence of the c-axis drift mobility in 4H-SIC (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID3963'>Integration of organic based Schottky junctions for crossbar non-volatile memory applications (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID192096'>Gallium arsenide passivation method for the employment of High Electron Mobility Transistors in liquid environment (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2304'>High resolution pixel definition in hybrid microcavities (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35716'>Multi-bit storage through Si nanocrystals embedded in SiO2 (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35732'>Reliability of MOS devices with tungsten gates (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID1942'>Oxide-nitride-oxide memory stacks formed by low-energy Si ion implantation into nitride and wet oxidation (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID192427'>Optimization of microfluidic systems for IRMS long term measurement of living cells (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24869'>SnO_2 sub-micron wires for gas sensors (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID192420'>Boehmite filled hybrid sol-gel system as directly writable hard etching mask for pattern transfer (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25611'>Fabrication of Schottky diodes for terahertz imaging (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID204183'>Piezoelectrically actuated MEMS microswitches for high current applications (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25021'>Young's modulus and residual stress of DF PECVD silicon nitride for MEMS free-standing membranes (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25389'>Unified mechanisms for structure relaxation and crystallization in phase-change memory (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25022'>Fabrication and characterization of point defect photonic crystal nanocavities at telecom wavelength (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24987'>Fabrication and characterization of point defect photonic crystal nanocavities for telecom-wavelength (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25436'>Magnetic dot clusters for application in magneto-electronics (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID169080'>Fabrication of RF-MEMS switches on LTCC substrates using PECVD a-Si as sacrificial layer (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID240919'>Fabrication of air-bridge sub-micron Schottky junctions on Ge/SOI for THz detection (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID256454'>Micromachined silicon grisms: high resolution spectroscopy in the near infrared (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID4005'>Fast thermal nanoimprint lithography by a stamp with integrated heater (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID221239'>Origin of the C49-C54 volume anomaly in TiSi2 thin films: An in-situ XRD and TEM analysis (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID204179'>Thermal evaporation of Ge on Si for near infrared detectors: Material and device characterization (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID1406'>Nanocrystals cylindrical microcavities exploiting thin-walled InGaAs/GaAs microtubes (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35460'>Dual metal SiC Schottky rectifiers with low power dissipation (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID185091'>Hybrid porous resist with sensing functionality (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2054'>Fabrication of force sensors based on two-dimensional photonic crystal technology (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2069'>Fabrication and transport of large-scale molecular tunnel-junction arrays (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24736'>Recent developments on flash memory reliability (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35321'>First stages of silicidation in Ti/Si thin films (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID288843'>PDMS antireflection nano-coating for glass substrates (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35300'>Time resolved study on Co/Ni/a-Si phase transition during isothermal annealing at 400 °C (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24538'>Fabrication of band-gap structures in planar waveguides for second harmonic generation. (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID191974'>Aluminum Nitride piezo-MEMS on polyimide flexible substrates (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID168451'>Dual step EBL Gate fabrication technology for GaN-HEMT wideband applications (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24414'>Micromachined capacitive ultrasonic transducers fabricated using silicon on insulator wafers (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID59011'>Fully integrated three-axis Hall magnetic sensor based on micromachined structures (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID320044'>Development of electrochemical biosensors by e-beam lithography for medical diagnostics (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2080'>Fabrication of AlN/Si SAW delay lines with very low RF signal noise (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID319692'>Actuation of silicon pillar micro-mechanical resonators by Kelvin polarization force (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID177050'>APEX protocol implementation on a lab-on-a-chip for SNPs detection (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID943'>Axicon lens on optical fiber forming optical tweezers, made by focused ion beam milling (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID944'>Compact micropumping system based on LIGA fabricated microparts (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID59013'>Parallel and high sensitive photonic crystal cavity assisted read-out for DNA-chips (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID313787'>Radiofrequency characterization of polydimethylsiloxane - iron oxide based nanocomposites (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID945'>Twin cantilevers with a nanogap for single molecule experimentation (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID946'>X-ray vortices with high topological charge (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID47838'>The existence of atomic-like states of silicon in siloxanic networks: A DFT approach (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID240930'>Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24569'>Laser assisted deposition of nanopatterned biomolecular layers. 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rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID184271'>Two-dimensional Photonic Crystal Waveguide obtained by e-beam direct writing of SU8-2000 Photoresist (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID257131'>Wet sample confinement by superhydrophobic patterned surfaces for combined X-ray fluorescence and X-ray phase contrast imaging (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20363'>Electrical and Noise Characterization of Suspended Silicon Wires (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20364'>Numerical simulation of capacitance spectroscopy for multiple vertically stacked quantum dots (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID311076'>Microstructured polydimethylsiloxane membranes for peripheral nerve regeneration (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID3567'>Attomole (amol) myoglobin Raman detection from plasmonic nanostructures (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID40291'>Drop-on-Demand inkjet printing of highly luminescent CdS and CdSe@ZnS nanocrystal based nanocomposites (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35130'>Study of cosi2 thermal stability improved by interfacial cavities (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2742'>Chemical vapor deposition of chalcogenide materials for phase-change memories (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35210'>Structural and electrical characterization of titanium and nickel silicide contacts on silicon carbide (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID313286'>Highly luminescent, flexible and biocompatible cadmium-based nanocomposites (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID18553'>Fabrication of metamaterials in the optical spectral range (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2053'>Quantum dot nano-cavity emission tuned by a circular photonic crystal lattice (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2741'>Study of the interfaces in resistive switching MID thin films deposited by both ALD and e-beam coupled with different electrodes (Si, Ni, Pt, W, TiN) (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID311873'>Study of dynamic viscoelastic behavior of polystyrene films on addition of oleic acid (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2285'>Structural and electrical characterization of gold nanoclusters in thin SiO2 films: Realization of a nanoscale tunnel rectifier (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID175936'>Characterization of a new cobalt precursor for focused beam deposition of magnetic nanostructures (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID182593'>Relaxed SiGe heteroepitaxy on Si with very thin buffer layers: experimental LEPECVD indications and an interpretation based on strain- dependent dislocation nature (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID202349'>\"Optimization of Microfluidic Systems for IRMS long term measurement\" (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID296925'>Thermal properties of In-Sb-Te films and interfaces for phase change memory devices (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID290217'>Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID324000'>Design, fabrication and characterization of phase masks for astronomical applications (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID311061'>Tubeless biochip for tailoring cell co-cultures in closed microchambers (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID58715'>Microlens arrays on large area UV transparent hybrid sol-gel materials for optical tools (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20627'>Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID18343'>superhydrophobic surfaces fabricated by nanoimprint lithography (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID59012'>Emission control of colloidal nanocrystals embedded in Si3N4 photonic crystal H1 nanocavities (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20774'>Fabrication and characterization of a directional anemometer based on a single chip MEMS flow sensor (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20775'>Investigation of silicon nanowire breakdown properties for the realization of one-time programmable memories (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID187454'>Micromachined silicon suspended wires with submicrometric dimensions (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID187455'>A micromachined Xenon flow regulator for space applications (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID18552'>Fabrication of metamaterials in the optical spectral range (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID18554'>Fabrication of nano-rocket-tips for plasmonic nanofocusing (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID290142'>Fabrication of an electro-optical Bragg modulator based on plasma dispersion effect in silicon (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID36533'>Reliability of charge trapping memories with high-k control dielectrics (Invited Paper) (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID3961'>New selector based on zinc oxide grown by low temperature atomic layer deposition for vertically stacked non-volatile memory devices (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID191010'>Quantification and minimization of disorder caused by focused electron beam induced deposition of cobalt on graphene (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID36574'>Rare earth-based high-k materials for non-volatile memory applications (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID191439'>Flexible piezoelectric cantilevers fabricated on polyimide substrate (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID133'>Characterization of transient currents in HfO2 capacitors in the short timescale (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35980'>Quantitative electron energy loss spectroscopy of Si nanoclusters embedded in SiOx (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID191178'>FIB lithography of nanoporous gold slits for extraordinary transmission (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID263028'>Sputtered Ge-on-Si heteroepitaxial pn junctions: Nanostructure, interface morphology and photoelectrical properties (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID36866'>Chemical nature of the passivation layer depending on the oxidizing agent in Gd(2)O(3)/GeO(2)/Ge stacks grown by molecular beam deposition (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID36868'>Structural and electrical properties of Er-doped HfO(2) and of its interface with Ge (001) (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID272239'>Silicided Au/Ni bilayer on p-type [001] silicon for low contact resistance metallization schemes (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25182'>Towards a LED based on a photonic crystal nanocavity for single photon sources at telecom wavelength (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25613'>Fabrication of air-bridge Schottky diodes on germanium for high speed IR detectors (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID36440'>Evaluation of HfAlO high-k materials for control dielectric applications in non-volatile memories (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35619'>Accurate assessment of the time-to-failure of hyper-thin gate oxides subjected to constant electrical stress using a logistic-type model (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35498'>Reduction of fixed charges in atomic layer deposited Al2O3 dielectrics (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID243115'>Highly IR-transparent microfluidic chip with surface-modified BaF2 optical windows for Infrared Microspectroscopy of living cells (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID324152'>In situ X-ray spectromicroscopy study of bipolar plate material stability for nano-fuel-cells with ionic-liquid electrolyte (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID39871'>Nanoimprinted photonic crystals for the modification of the (CdSe)ZnS nanocrystals light emission (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID949'>Fabrication of SOI photonic crystal slabs by soft UV-nanoimprint lithography (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID950'>Design and fabrication of active and passive photonic crystal resonators (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25299'>Fabrication of electro optical nano modulator on silicon chip (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li></ul></dd><dt>Alternative label</dt><dd><ul><li>Microelectron. eng. (literal)</li><li>Microelectronic engineering. (literal)</li></ul></dd><dt>Language</dt><dd><ul><li>eng (literal)</li></ul></dd><dt>Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#issn</dt><dd><ul><li>0167-9317 (literal)</li></ul></dd><dt>Preferred label</dt><dd><ul><li>Microelectronic engineering (literal)</li></ul></dd><dt>Publisher</dt><dd><ul><li>North-Holland Amsterdam : NLD (literal)</li></ul></dd>

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<br/><h4>Incoming links:</h4><br/><dl><dt>Rivista</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID949'>Fabrication of SOI photonic crystal slabs by soft UV-nanoimprint lithography (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID950'>Design and fabrication of active and passive photonic crystal resonators (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID1941'>Effects of thermal treatments on chemical composition and electrical properties of ultra-thin Lu oxide layers on Si (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID1943'>Understanding of the thermal stability of the hafnium oxide/TiN stack via 2 'high k' and 2 metal deposition techniques (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2520'>Preliminary study of micromechanical stress delivery for cell biology studies (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2540'>Colloidal nanocrystals air bridge fabricated by direct lithography (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2769'>Infrared spectroscopy and X-ray diffraction studies on the crystallographic evolution of La2O3 films upon annealing (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2773'>Electrical characterization of suspended Pt nanowires grown by EBID with water vapour assistance (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID943'>Axicon lens on optical fiber forming optical tweezers, made by focused ion beam milling (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID944'>Compact micropumping system based on LIGA fabricated microparts (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID945'>Twin cantilevers with a nanogap for single molecule experimentation (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID946'>X-ray vortices with high topological charge (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID947'>Nanopatterning of colloidal nanocrystals emitters dispersed in a PMMA matrix by e-beam lithography (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID948'>Porous silicon as drug carrier for controlled delivery of doxorubicin anticancer agent (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID1406'>Nanocrystals cylindrical microcavities exploiting thin-walled InGaAs/GaAs microtubes (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID1942'>Oxide-nitride-oxide memory stacks formed by low-energy Si ion implantation into nitride and wet oxidation (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2053'>Quantum dot nano-cavity emission tuned by a circular photonic crystal lattice (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2285'>Structural and electrical characterization of gold nanoclusters in thin SiO2 films: Realization of a nanoscale tunnel rectifier (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2519'>Micropatterned dry electrodes for brain-computer interface (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2539'>Fabrication of disordered photonic crystal structures for organic random lasing devices (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2742'>Chemical vapor deposition of chalcogenide materials for phase-change memories (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2988'>Hybrid polymer/semiconductor microtubes: A new fabrication approach (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID133'>Characterization of transient currents in HfO2 capacitors in the short timescale (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2054'>Fabrication of force sensors based on two-dimensional photonic crystal technology (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2069'>Fabrication and transport of large-scale molecular tunnel-junction arrays (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2080'>Fabrication of AlN/Si SAW delay lines with very low RF signal noise (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2304'>High resolution pixel definition in hybrid microcavities (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID2741'>Study of the interfaces in resistive switching MID thin films deposited by both ALD and e-beam coupled with different electrodes (Si, Ni, Pt, W, TiN) (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID3567'>Attomole (amol) myoglobin Raman detection from plasmonic nanostructures (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID3962'>Vertically stacked non-volatile memory devices - material considerations (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID3964'>Resistance switching in amorphous and crystalline binary oxides grown by electron beam evaporation and atomic layer deposition (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID18553'>Fabrication of metamaterials in the optical spectral range (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20627'>Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20774'>Fabrication and characterization of a directional anemometer based on a single chip MEMS flow sensor (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID20775'>Investigation of silicon nanowire breakdown properties for the realization of one-time programmable memories (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24663'>Efficient fiber-to-waveguide coupling by a lens on the end of the optical fiber fabricated by focused ion beam milling (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25019'>Building CMUTs for imaging applications from top to bottom (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25298'>Cavity-enhanced photonic crystal light-emitting diode at 1300 nm (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25403'>A nanotechnology application for low energy neutral atom detection with high angular resolution for the BepiColombo mission to Mercury (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25612'>Ion and electron beam deposited masks for pattern transfer by reactive ion etching (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25708'>A wireless microsystem with digital data compression for neural spike recording (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35300'>Time resolved study on Co/Ni/a-Si phase transition during isothermal annealing at 400 °C (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35321'>First stages of silicidation in Ti/Si thin films (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID35460'>Dual metal SiC Schottky rectifiers with low power dissipation (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a 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