Quasi-epitaxial growth of crystalline wurtzite AlN thin films on Si(100) by RF magnetron sputtering (Abstract/Poster in atti di convegno)

Type
Label
  • Quasi-epitaxial growth of crystalline wurtzite AlN thin films on Si(100) by RF magnetron sputtering (Abstract/Poster in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2009-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Cinzia Caliendo (1); Patrizia Imperatori (2); Guido Scavia (2) (2009)
    Quasi-epitaxial growth of crystalline wurtzite AlN thin films on Si(100) by RF magnetron sputtering
    in 2009 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), Rome, September 20-23, 2009
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • Cinzia Caliendo (1); Patrizia Imperatori (2); Guido Scavia (2) (literal)
Pagina inizio
  • 254 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url
  • http://ewh.ieee.org/conf/ius_2009/pages/symposium/program/schedule.php (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume
  • 2009 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) and Short Courses (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#volumeInCollana
  • Abstract_Book (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali
  • 1 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo
  • P-O-01 (literal)
Note
  • Poster (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • (1) Istituto dei Sistemi Complessi - CNR, Rome-Italy (2) ISM - CNR, Rome-Italy (literal)
Titolo
  • Quasi-epitaxial growth of crystalline wurtzite AlN thin films on Si(100) by RF magnetron sputtering (literal)
Prodotto di
Autore CNR

Incoming links:


Autore CNR di
Prodotto
data.CNR.it