Applications of the digital holography to the dynamic characterization of MEMS: a micromechanical shunt switch and a micro-gassensor (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Applications of the digital holography to the dynamic characterization of MEMS: a micromechanical shunt switch and a micro-gassensor (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/WFOPC.2005.1462105 (literal)

Alternative label

• Striano V., Coppola G. , Ferraro P. , Alfieri D. , De Nicola S. , Pierattini G. , Finizio A. , Marcelli R. , Maccagnani P. (2005)
  Applications of the digital holography to the dynamic characterization of MEMS: a micromechanical shunt switch and a micro-gassensor
  in 4th IEEE/LEOS Workshop on Fibres and Optical Passive Components, WFOPC 2005, Palermo, June 22-24 2005
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Striano V., Coppola G. , Ferraro P. , Alfieri D. , De Nicola S. , Pierattini G. , Finizio A. , Marcelli R. , Maccagnani P. (literal)

Pagina inizio

• 87 (literal)

Pagina fine

• 91 (literal)

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• Proceedings of the 4th IEEE/LEOS Workshop on Fibres and Optical Passive Components, WFOPC 2005 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 5 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM Roma CNR-IMM Napoli CNR-IMM Bologna CNR-INO Napoli CNR-ICIB Napoli (literal)

Titolo

• Applications of the digital holography to the dynamic characterization of MEMS: a micromechanical shunt switch and a micro-gassensor (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 0-7803-8949-2 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autoriVolume

• AA.VV. (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#curatoriVolume

• Editors/Chairmen: Stefano Riva-Sanseverino, Massimo Artiglia (literal)

Abstract

• Download Citation Email Print Request Permissions Save to Project Digital holography is a valid instrument for characterization of micro-electro-mechanical systems (MEMS) with an high resolution and accuracy. In the this paper a brief introduction on the digital holographic microscope will be given, reporting the numerical approach utilized to reduce aberrations, unwrapping phase errors and defocusing of the reconstructed images. Moreover, we present the experimental results on the dynamic characterization of two macrostructured devices. In particular, a dynamic characterization of a micromechanical shunt switch in coplanar waveguide configuration, for microwave application, and a MEMS gas sensor, based on a Pt heater resistor on a Si3N4 membrane, has been analyzed. (literal)

Prodotto di

• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)
• Microsistemi optoelettronici in silicio e tecnologie compatibili (MD.P05.014.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• PIERA MACCAGNANI (Persona)
• GIOVANNI PIERATTINI (Unità di personale interno)
• ANDREA FINIZIO (Unità di personale interno)
• SERGIO DE NICOLA (Persona)
• GIUSEPPE COPPOLA (Persona)
• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• DOMENICO ALFIERI (Persona)
• VALERIO STRIANO (Persona)
• PIETRO FERRARO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Applications of the digital holography to the dynamic characterization of MEMS: a micromechanical shunt switch and a micro-gassensor" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• PIETRO FERRARO (Unità di personale interno)
• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• SERGIO DE NICOLA (Persona)
• PIERA MACCAGNANI (Persona)
• ANDREA FINIZIO (Unità di personale interno)
• GIOVANNI PIERATTINI (Unità di personale interno)
• VALERIO STRIANO (Persona)
• GIUSEPPE COPPOLA (Persona)
• DOMENICO ALFIERI (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi optoelettronici in silicio e tecnologie compatibili (MD.P05.014.001) (Modulo)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Applications of the digital holography to the dynamic characterization of MEMS: a micromechanical shunt switch and a micro-gassensor" (Insieme di parole chiave)