Fabrication of RF MEMS switches on alumina wafers using PECVD a-Si as sacrificial layer (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Fabrication of RF MEMS switches on alumina wafers using PECVD a-Si as sacrificial layer (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Cianci E, Coppa A, Foglietti V, Dispenza M, Buttiglione R, Fiorello AM, Marcelli R, Catoni S, Pochesci D (2006)
  Fabrication of RF MEMS switches on alumina wafers using PECVD a-Si as sacrificial layer
  in 32nd Int Conf on Micro- and Nano-Engineering, Barcellona (E)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Cianci E, Coppa A, Foglietti V, Dispenza M, Buttiglione R, Fiorello AM, Marcelli R, Catoni S, Pochesci D (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMM Roma CNR-IFN Roma SELEX-SI Roma (literal)

Titolo

• Fabrication of RF MEMS switches on alumina wafers using PECVD a-Si as sacrificial layer (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ROMOLO MARCELLI (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Fabrication of RF MEMS switches on alumina wafers using PECVD a-Si as sacrificial layer" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/modulo/ID2035

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Fabrication of RF MEMS switches on alumina wafers using PECVD a-Si as sacrificial layer" (Insieme di parole chiave)