http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID86557
Process dependence of doped polysilicon thermal conductivity for thermal MEMS applications (Contributo in atti di convegno)
- Type
- Label
- Process dependence of doped polysilicon thermal conductivity for thermal MEMS applications (Contributo in atti di convegno) (literal)
- Anno
- 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Alternative label
Mancarella F, Roncaglia A, Cristiani S, Cardinali G.C, Severi M (2006)
Process dependence of doped polysilicon thermal conductivity for thermal MEMS applications
in 11th Italian Conference on Sensors and Microsystems (AISEM2006), Lecce (Italy)
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- Mancarella F, Roncaglia A, Cristiani S, Cardinali G.C, Severi M (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- CNR IMM Bologna, I-40129 Bologna, Italy (literal)
- Titolo
- Process dependence of doped polysilicon thermal conductivity for thermal MEMS applications (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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