GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • A. Fornelli, R. d'Agostino, F. Fanelli, F. Fracassi, F. Palumbo (2003)
    GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films
    in 16th International Symposium on Plasma Chemistry, Taormina
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • A. Fornelli, R. d'Agostino, F. Fanelli, F. Fracassi, F. Palumbo (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • Dipartimento di Chimica, Università degli Studi di Bari, IMIP CNR, via Orabona 4, 70126 Bari, Italy (literal)
Titolo
  • GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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