http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID85889
GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films (Contributo in atti di convegno)
- Type
- Label
- GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films (Contributo in atti di convegno) (literal)
- Anno
- 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Alternative label
A. Fornelli, R. d'Agostino, F. Fanelli, F. Fracassi, F. Palumbo (2003)
GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films
in 16th International Symposium on Plasma Chemistry, Taormina
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- A. Fornelli, R. d'Agostino, F. Fanelli, F. Fracassi, F. Palumbo (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- Dipartimento di Chimica, Università degli Studi di Bari, IMIP CNR, via Orabona 4, 70126 Bari, Italy (literal)
- Titolo
- GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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