Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues (Contributo in atti di convegno)

Type
Label
  • Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues (Contributo in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • S. Bollanti, D. Amodio, A. Conti, P. Di Lazzaro, F. Flora, L. Mezi, D. Murra, A. Torre, C. E. Zheng, D. Garoli, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, V. Mattarello, V. Rigato, and A. Gerardino (2007)
    Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues
    in Proc. SPIE 6703, 670308
    (literal)
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  • S. Bollanti, D. Amodio, A. Conti, P. Di Lazzaro, F. Flora, L. Mezi, D. Murra, A. Torre, C. E. Zheng, D. Garoli, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, V. Mattarello, V. Rigato, and A. Gerardino (literal)
Pagina inizio
  • 670308 (literal)
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  • Proc. SPIE, Ultrafast X-Ray Sources and Detectors (literal)
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  • 6703 (literal)
Rivista
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  • ENEA Frascati, INFN Legnaro, Universita' di Padova, CNR-INFM etc (literal)
Titolo
  • Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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