Guided Lamb Waves in AlN Free Strips (Contributo in atti di convegno)

Type

• Contributo in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Guided Lamb Waves in AlN Free Strips (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/ULTSYM.2007.421 (literal)

Alternative label

• M. Benetti, D. Cannatà, F. Di Pietrantonio, E. Verona (2007)
  Guided Lamb Waves in AlN Free Strips
  in IEEE Ultrasonics Symposium, New York (NY), Oct 28-31, 2007
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• M. Benetti, D. Cannatà, F. Di Pietrantonio, E. Verona (literal)

Rivista

• Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Istituto di Acustica e Sensoristica \"Orso Mario Corbino\", Consiglio Nazionale delle Ricerche, Rome, Italy (literal)

Titolo

• Guided Lamb Waves in AlN Free Strips (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 978-1-4244-1383-6 (literal)

Abstract

• An electro-acoustic micro-device based on the propagation of guided acoustic Lamb-waves in aluminum nitride (AlN) free strip is described. The AlN thin film was deposited by sputtering technique, optimized to achieve an high degree of orientation (rocking curve FWHM approximate to 3.5 degrees) of the c-axis perpendicular to the plate surface. The AlN beam was micro-machined using anisotropic reactive ion etching (RIE) technique, followed by an isotropic RIE process to remove the silicon underlayer. Simulation results obtained for the dispersion phase velocity curves and the electromechanical coupling coefficient (W), are reported. Finally, delay-lines were Implemented on the structure and tested for the propagation of the first symmetrical Lamb mode (SO) at the frequency of 1.23 GHz. Measurements are In good accordance with theoretical predictions and show how the structure Is suitable for arrays integration of electro-acoustic devices on a single chip for applications to sensing devices and signal processing systems. (literal)

Prodotto di

• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)
• Micro-dispositivi acusto-elettronici e Sensori di grandezze chimiche e fisiche (SP.P02.008.001) (Modulo)

Autore CNR

• MASSIMILIANO BENETTI (Persona)
• Domenico Cannatà (Unità di personale esterno)
• ENRICO VERONA (Unità di personale interno)
• FABIO DI PIETRANTONIO (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Guided Lamb Waves in AlN Free Strips" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• ENRICO VERONA (Unità di personale interno)
• MASSIMILIANO BENETTI (Persona)
• FABIO DI PIETRANTONIO (Persona)
• Domenico Cannatà (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)
• Micro-dispositivi acusto-elettronici e Sensori di grandezze chimiche e fisiche (SP.P02.008.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Guided Lamb Waves in AlN Free Strips" (Insieme di parole chiave)